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龙图腾网获悉天津大学申请的专利一种基于零反射差分信号测量各向异性薄膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116045821B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211000966.6，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种基于零反射差分信号测量各向异性薄膜的方法是由沈万福;胡春光;卢火青;马国腾;于宇设计研发完成，并于2022-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于零反射差分信号测量各向异性薄膜的方法在说明书摘要公布了：一种基于零反射差分信号测量各向异性薄膜的方法，涉及薄膜厚度检测领域，包括以下步骤：利用反射差分光谱仪、光弹调制式反射差分光谱仪测得样品的宽波段反射差分光谱；确定零反射差分信号对应的入射波长：在宽波段反射差分光谱中遍历所有波长通道，确定反射差分信号过零时对应的波长；各向异性薄膜厚度的确定：根据获得反射差分零信号对应的波长与薄膜厚度的映射关系，确定各向异性薄膜的厚度。本发明提出利用反射差分信号的过零点ΔRR＝0的位置来确定各向异性薄膜的厚度，可以去除入射光的偏振角度与各向异性薄膜晶轴角度的差异引入的误差，更进一步地，可以省去确定晶轴的时间。

本发明授权一种基于零反射差分信号测量各向异性薄膜的方法在权利要求书中公布了：1.一种基于零反射差分信号测量各向异性薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤： S1：测量样品的宽波段反射差分光谱：利用反射差分光谱仪、光弹调制式反射差分光谱仪测得样品的宽波段反射差分光谱； S2：确定零反射差分信号对应的入射波长：在宽波段反射差分光谱中遍历所有波长通道，确定反射差分信号过零时对应的波长； S3：各向异性薄膜厚度的确定：根据获得反射差分零信号对应的波长与薄膜厚度的映射关系，确定各向异性薄膜的厚度； 在所述的步骤S3中，待测样品的光学折射系数未知时，首先标定此类样品产生零反射差分信号的波长与样品厚度的映射关系，包括以下步骤： S31：获得一系列不同厚度的各向异性薄膜； S32：利用薄膜厚度测量装置先对这一系列不同厚度的各向异性薄膜进行厚度测试； S33：利用反射差分光谱对这一系列厚度已知的样品进行测试； S34：根据S32和S33的测试结果，建立零反射差分信号的波长与厚度的映射关系，然后利用确定好的映射关系，确定其他各向异性薄膜的厚度。

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