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龙图腾网获悉南京航空航天大学;南京航空航天大学苏州研究院申请的专利一种基于信息融合的集成电路套刻误差测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115981107B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211641343.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种基于信息融合的集成电路套刻误差测量方法是由孟凯;王凯;楼佩煌;钱晓明;武星设计研发完成，并于2022-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于信息融合的集成电路套刻误差测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种一种基于信息融合的集成电路套刻误差测量方法，所述方法对给定的衍射或散射式套刻误差测量标记，分别采用基于模型的套刻误差测量MBO、基于经验的套刻误差测量EBO、模型模型混合测量MBO+MBO以及模型经验混合测量EBO+MBO等方法进行套刻误差值提取。基于计算电磁场仿真手段对不同方法计算套刻误差的测量分布及其不确定度进行估计，提供先验知识以剔除异常测量结果，并提供融合的决策依据。进而，对获得的实际测量信号所得的不同测量提取计算结果，采用分级的信息融合方法进行决策融合，得到最终的套刻误差结果。本发明提供的方法可实现套刻误差的高可信度提取计算，并适用非理想测量条件下的套刻误差测量。

本发明授权一种基于信息融合的集成电路套刻误差测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于信息融合的集成电路套刻误差测量方法，其特征在于，包括如下步骤 1根据待测工艺对象的相关信息，确定待测套刻标记的形貌特征和材料特性，采用参数化建模与计算电磁场求解方法对一组典型DBO套刻标记的光学响应进行计算，获得理想情况下的光学信号； 2对仿真得到的光谱信号ΔI或穆勒矩阵加载噪声Δm作为模拟的实测光谱信号； 3对上述信号分别采用基于模型的提取方法、基于经验的提取方法以及两者的多种组合提取方法，每种提取方法对噪声加载后的光谱信号进行计算得到多个不同测量值OVLm； 4根据批量仿真计算的结果，确定套刻误差分布的合理取值区间，对于不在分布区间内的实际测量值则予以排除； 5对于步骤3中不同提取方法，对实际测量信号进行计算，得到多个不同测量值OVKm，采用信息融合得到新的套刻误差值OVKm′；其中信息融合处理有两个阶段：局部融合和整体融合；其中局部融合体现在：对于MBO+MBO和MBO+EBO两种提取方法融合量测情况，分别采用信息融合的方法各自得到一个可信度更高的套刻误差值；对于单独的MBO和EBO提取方法得出的结果采用求解平均值的方法得到代表该提取方法的套刻误差值 6根据步骤5中所述的在整体融合体现：对每种提取方法得到的OVLm′进行二次决策融合，即对MBO、EBO、MBO+MBO、EBO+MBO几种提取方法结果进行融合得到可信度更高的套刻误差值OVL*。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南京航空航天大学;南京航空航天大学苏州研究院，其通讯地址为：210016 江苏省南京市御道街29号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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