华芯程(杭州)科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利一种芯片边缘放置误差确定方法、装置、设备、存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115981095B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211586936.8,技术领域涉及:G03F1/36;该发明授权一种芯片边缘放置误差确定方法、装置、设备、存储介质是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2022-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片边缘放置误差确定方法、装置、设备、存储介质在说明书摘要公布了:本申请公开了一种芯片边缘放置误差确定方法、装置、设备、存储介质,涉及光学邻近校正技术领域,包括:对芯片仿真的光刻胶图形边缘进行像素化处理,获取目标像素;利用预设编码方式对目标像素进行编码,获取目标像素编码;对目标像素编码进行适应性评估,并从与目标像素编码对应的目标像素中选择出第一目标像素;基于第一目标像素生成第一目标像素种群,并输出第一目标像素种群的目标适应值;利用目标适应值对PID控制器的参数进行调整,确定芯片边缘放置误差。对光刻胶图形边缘进行像素化处理并且基于对目标像素编码的适应性评估的方式选择合适的适应值,将目标适应值至PID控制器的参数调整中,实现简单便捷的确定芯片边缘放置误差。
本发明授权一种芯片边缘放置误差确定方法、装置、设备、存储介质在权利要求书中公布了:1.一种芯片边缘放置误差确定方法,其特征在于,包括: 对芯片仿真的光刻胶图形边缘进行像素化处理,以获取所述光刻胶图形边缘的目标像素; 利用预设编码方式对所述目标像素进行编码,获取目标像素编码; 对所述目标像素编码进行适应性评估,并从与所述目标像素编码对应的目标像素中选择与符合预设筛选条件规则的目标像素编码对应的第一目标像素; 基于所述第一目标像素生成第一目标像素种群,并输出所述第一目标像素种群的目标适应值; 利用所述目标适应值对PID控制器的参数进行调整,以确定芯片边缘放置误差。
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