芯达半导体设备(苏州)有限公司魏猛获国家专利权
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龙图腾网获悉芯达半导体设备(苏州)有限公司申请的专利一种涂胶显影机的故障检测方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115950660B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211531872.1,技术领域涉及:G01M99/00;该发明授权一种涂胶显影机的故障检测方法和装置是由魏猛;胡延兵;宋文博;王震;杜莹设计研发完成,并于2022-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影机的故障检测方法和装置在说明书摘要公布了:本发明的实施例提供了一种涂胶显影机的故障检测方法和装置。所述方法包括当印版处于第一位置时,触发位置传感器生成印版到位信号,反馈至控制器;印版移动单元响应于印版到位信号,将印版移动至印版检测单元;在印版检测单元中,温湿度检测组件对印版进行温度检测和湿度检测,得到温湿度检测结果;以及厚度检测组件对印版进行厚度检测,得到厚度检测结果;根据温湿度检测结果和厚度检测结果对涂胶显影机的故障情况进行判断。以此方式,可以对涂胶显影机工序执行完成后的印版进行检测,识别出印版的非标情况,从而对涂胶显影机的故障情况及时发现。
本发明授权一种涂胶显影机的故障检测方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种涂胶显影机故障检测方法,其特征在于,所述涂胶显影机包括加热单元和出胶单元;所述方法包括: 当印版处于第一位置时,触发位置传感器生成印版到位信号,反馈至控制器;并由所述控制器将所述印版到位信号发送至印版移动单元; 所述印版移动单元响应于所述印版到位信号,将所述印版移动至印版检测单元; 在所述印版检测单元中,温湿度检测组件6对所述印版进行温度检测和湿度检测,得到温湿度检测结果;以及厚度检测组件7对所述印版进行厚度检测,得到厚度检测结果; 所述控制器判断所述温湿度检测结果是否在预设的温湿度误差范围内,若是,则所述加热单元无故障;否则所述加热单元存在故障;以及,判断所述厚度检测结果是否在预设的厚度误差范围内,若是,则所述出胶单元无故障;否则所述出胶单元存在故障。
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