拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司孙宝获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司申请的专利晶圆键合滑片的检测方法、装置和电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115839669B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211089497.X，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权晶圆键合滑片的检测方法、装置和电子设备是由孙宝;马双义;赵捷设计研发完成，并于2022-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆键合滑片的检测方法、装置和电子设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆键合滑片的检测方法、装置和电子设备。其中，该方法包括：获取两片晶圆键合后的图像；基于键合后的图像判断键合设备的卡盘轮廓是否近似于圆形；如果近似于圆形，确定键合后的图像对应的目标椭圆；基于目标椭圆的宽和高的差值判断键合后的晶圆是否出现滑片。该方式中，在获取两片晶圆键合后的图像之后，可以通过圆形拟合和椭圆形拟合的方式，检测键合结果是否出现滑片，实现了自动化晶圆键合检测，可以节约时间和人力成本，提高效率、准确度和安全性，从而有效的避免滑片对设备产生的安全性影响。
本发明授权晶圆键合滑片的检测方法、装置和电子设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合滑片的检测方法，其特征在于，所述方法包括： 获取两片晶圆键合后的图像； 基于所述键合后的图像判断键合设备的卡盘轮廓是否近似于圆形； 如果近似于圆形，确定所述键合后的图像对应的目标椭圆； 基于所述目标椭圆的宽和高的差值判断键合后的晶圆是否出现滑片； 在所述键合设备正上方安装相机，在所述键合设备的两侧的侧上方均安装条形光源； 获取两片晶圆键合后的图像的步骤，包括：通过多个所述条形光源向键合后的晶圆发出多条光线；通过所述相机获取被条形光源照射的两片晶圆键合后的晶圆图像； 基于所述键合后的图像判断键合设备的卡盘轮廓是否近似于圆形的步骤之后，所述方法还包括：如果不近似于圆形，确定键合后的晶圆出现滑片； 确定所述键合后的图像对应的目标椭圆的步骤，包括：基于所述键合后的晶圆的轮廓进行拟合，得到所述键合后的图像对应的目标椭圆。
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