珠海市睿晶聚源科技有限公司赵西金获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海市睿晶聚源科技有限公司申请的专利光学邻近修正方法、系统、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115826349B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211481980.2，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权光学邻近修正方法、系统、电子设备及存储介质是由赵西金;李秋良;胡滨设计研发完成，并于2022-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学邻近修正方法、系统、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光学邻近修正方法、系统及计算机可读存储介质，包括：获取第一设计版图、第二设计版图以及第一设计版图的第一掩膜版图，其中，第一掩膜版图由对第一设计版图数据转换得到；将第一设计版图与第二设计版图进行异或比较，生成待修正区域信息，其中，所述待修正区域信息包括区域坐标信息；根据待修正区域信息以及第一掩膜版图对第二设计版图进行光学邻近修正，得到修正结果；根据区域坐标信息以及修正结果对第一掩膜版图进行替换处理，得到第二掩膜版图。本发明实施例中，能够自动比较第二设计版图与第一设计版图的差异，提高光学修正效率。
本发明授权光学邻近修正方法、系统、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种光学邻近修正方法，其特征在于，所述方法包括： 获取第一设计版图、第二设计版图以及所述第一设计版图的第一掩膜版图，其中，所述第一掩膜版图由对所述第一设计版图数据转换得到； 将所述第一设计版图与所述第二设计版图进行异或比较，生成待修正区域信息，其中，所述待修正区域信息包括区域坐标信息； 根据所述待修正区域信息以及所述第一掩膜版图对所述第二设计版图进行光学邻近修正，得到修正结果； 根据所述区域坐标信息以及所述修正结果对所述第一掩膜版图进行替换处理，得到第二掩膜版图； 其中，所述待修正区域信息用于确定至少一个目标矩形区域，所述目标矩形区域是按照空间聚类算法划分的多个多边形区域形成的集合的最小外接矩形； 以及，当所述最小外接矩形中的多个多边形区域为差异多边形、所述最小外接矩形的面积大于预设面积且所述差异多边形的覆盖面积远小于所述最小外接矩形，将所述最小外接矩形调整为所述差异多边形。
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