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深圳晶源信息技术有限公司王成瑾获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳晶源信息技术有限公司申请的专利图形对称性处理方法、图形对称性处理系统及计算机介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115760960B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211562391.7,技术领域涉及:G06T7/68;该发明授权图形对称性处理方法、图形对称性处理系统及计算机介质是由王成瑾;高世嘉设计研发完成,并于2022-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

图形对称性处理方法、图形对称性处理系统及计算机介质在说明书摘要公布了:本发明涉及光刻技术领域,特别涉及一种图形对称性处理方法、图形对称性处理系统及计算机介质,本发明的图形对称性处理方法包括以下步骤:获取需要光刻的主图形和对应的辅助图形;依据预设方式在主图形外放置辅助图形;基于预设辅助图形的遍历规则获取优化依赖关系;执行辅助图形遍历规则并基于优化依赖关系的结果对辅助图形进行优化处理;对优化后的辅助图形进行解决冲突处理,得到包括主图形的需求曝光图形。通过制定单独的辅助图形遍历规则,使得辅助图形在进行遍历时,不再仅仅依照初始优化顺序优化,在保证对称及完整性的情况下对辅助图形进行优化,进而提高了曝光图形的对称性。

本发明授权图形对称性处理方法、图形对称性处理系统及计算机介质在权利要求书中公布了:1.一种图形对称性处理方法,其特征在于:包括以下步骤: 获取需要光刻的主图形和对应的辅助图形; 依据预设方式在主图形外放置辅助图形; 基于预设辅助图形的遍历规则获取优化依赖关系; 执行辅助图形遍历规则并基于优化依赖关系的结果对辅助图形进行优化处理; 对优化后的辅助图形进行解决冲突处理,得到包括主图形的需求曝光图形; 对辅助图形的优化处理具体还包括以下步骤: 获取辅助图形的第一位置的优化依赖顺序; 通过指针遍历整个辅助图形及优化依赖顺序,基于遍历结果对辅助图形进行优化; 依据辅助图形的优化结果在第二位置进行遍历; 若第二位置与第一位置的处理结果匹配,则得到优化图形; 所述辅助图形放置在所述主图形的外围,所述第一位置为读取整体图形过程中,依据优化顺序开始遍历所述辅助图形的起始点,所述第二位置为所述辅助图形位于所述主图形不同方向上的开始遍历的起始点,从所述第一位置所在的一侧先进行遍历,并将遍历数据和该侧的优化依赖顺序进行存储,应用于所述第二位置所在的一侧。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳晶源信息技术有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市福田区福保街道福保社区红棉道8号英达利科技数码园C栋401A;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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