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龙图腾网获悉北京航空航天大学;廊坊智驰动力科技有限公司申请的专利一种基于MEMS工艺的微尺度二维阵列式集成测温方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115717945B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211423839.7，技术领域涉及：G01K7/22；该发明授权一种基于MEMS工艺的微尺度二维阵列式集成测温方法是由徐天彤;李海旺;方卫东;陶智;吴瀚枭;李沐润;桑济昌设计研发完成，并于2022-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于MEMS工艺的微尺度二维阵列式集成测温方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于MEMS工艺的微尺度二维阵列式集成测温方法，包括：S1.将二维测温热电阻网络集成在微流体设备中；S2.建立数据点与外端阻值的数学关系模型；S3.测试得到所述电阻网络的外端阻值，反演得到所述电阻网络的内部阻值，基于所述电阻网络中的电阻温度特性以及所述关系模型，推导得到所述微流体设备的微通道内的温度场分布。本发明将二维电阻网络与微尺度测温进行有机结合，通过电阻网络的外端阻值测试，建立数学模型，反演内部阻值，根据金属的电阻温度特性，推导得到二维温度场，创新性地实现了用接触式测温方法获得高精度温度场。

本发明授权一种基于MEMS工艺的微尺度二维阵列式集成测温方法在权利要求书中公布了：1.一种基于MEMS工艺的微尺度二维阵列式集成测温方法，其特征在于，包括以下步骤： S1.基于MEMS磁控溅射工艺将二维测温热电阻网络集成在微流体设备中； S2.建立数据点与外端阻值的数学关系模型； S3.测试得到所述电阻网络的外端阻值，反演得到所述电阻网络的内部阻值，基于所述电阻网络中的电阻温度特性以及所述关系模型，推导得到所述微流体设备的微通道内的温度场分布； 步骤S3中，所述反演的具体方法有两种：分别为迭代法和拉普拉斯矩阵法； 所述迭代法是根据原始值对原方程组进行迭代计算，采用二分法、简单迭代法、牛顿法和弦割法，得到内部数据点之间电阻线的阻值，对内部数据点之间的阻值和温度建立线性方程组，采用最优化方法求解线性方程组，得到优化解，即为电阻网络的内部温度场； 所述拉普拉斯矩阵法是首先根据电阻网络构建拉普拉斯矩阵，之后对拉普拉斯矩阵求解广义逆，期间利用最优化方法，根据外部测试值得到内部数据点之间的阻值，对内部数据点之间的阻值和温度建立线性方程组，最后再次采用最优化方法求解线性方程组，得到优化解，即为电阻网络的内部温度场。

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