南京工业大学穆宜敏获国家专利权
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龙图腾网获悉南京工业大学申请的专利一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115639506B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211274703.4,技术领域涉及:G01R33/02;该发明授权一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器是由穆宜敏;王晓荣;朱文俊;张梦怡;易阳设计研发完成,并于2022-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器,所述磁传感器自下而上依次为绝缘基底、底层磁性薄膜、组合线圈和顶层磁性薄膜;组合线圈和底层磁性薄膜以及顶层磁性薄膜之间均设有绝缘隔离层;底层磁性薄膜和顶层磁性薄膜为矩形的平面磁性薄膜或者表面条栅图案磁性薄膜;且底层磁性薄膜和顶层磁性薄膜中至少有一个为表面条栅图案磁性薄膜;组合线圈为双螺旋线圈结构,包括交替设置的激励线圈和感应线圈。本发明不仅削弱了表面条栅图案磁性薄膜长度方向的退磁效应,增强了表面条栅图案磁性薄膜长度方向的有效磁导率,还抑制了涡流噪声,从而实现低噪声高灵敏度的磁场检测。
本发明授权一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器在权利要求书中公布了:1.一种低噪声高灵敏度微型平面叠层磁感应式磁传感器,其特征在于,所述磁传感器自下而上依次为绝缘基底、底层磁性薄膜、组合线圈和顶层磁性薄膜;组合线圈和底层磁性薄膜以及顶层磁性薄膜之间均设有绝缘隔离层;底层磁性薄膜和顶层磁性薄膜为矩形的平面磁性薄膜或者表面条栅图案磁性薄膜;且底层磁性薄膜和顶层磁性薄膜中至少有一个为表面条栅图案磁性薄膜;组合线圈为双螺旋线圈结构,包括交替设置的激励线圈和感应线圈,激励线圈和感应线圈均为平面矩形螺旋结构;组合线圈和表面条栅图案磁性薄膜呈垂直交叉设置; 表面条栅图案磁性薄膜包括表面光滑磁性薄膜和多个条栅图案磁性薄膜;多个条栅图案磁性薄膜等间距地排列在表面光滑磁性薄膜上;表面光滑磁性薄膜和单个条栅图案磁性薄膜均为矩形;条栅图案磁性薄膜的长边垂直于表面光滑磁性薄膜的长边;单个条栅图案磁性薄膜的长宽比不低于十;条栅图案磁性薄膜的长度和表面光滑磁性薄膜的宽度相同;表面光滑磁性薄膜位于组合线圈一侧;激励线圈和感应线圈的两端均设有电极,激励线圈的其中一个电极为电激励信号的输入端,另一个电极为电激励信号的输出端;感应线圈两个电极的电势差为输出信号。
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