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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十一研究所申请的专利等离子体参数瞬态太赫兹波透射测试装置、方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115406858B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211143481.2，技术领域涉及：G01N21/3581；该发明授权等离子体参数瞬态太赫兹波透射测试装置、方法及系统是由郝泽宇;韩顺利;张文征;赵润泽;于怡然设计研发完成，并于2022-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子体参数瞬态太赫兹波透射测试装置、方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了等离子体参数瞬态太赫兹波透射测试装置、方法及系统，涉及等离子体透射测试技术领域。包括一号微波暗室、被测装置、二号微波暗室、矢量网络分析模块和工控机，被测装置内设置有等离子体；一号微波暗室内设置有一号扩频模块、发射喇叭天线和一号透镜，二号微波暗室内设置有二号扩频模块、二号透镜和接收喇叭天线，发射喇叭天线与一号扩频模块相连接，接收喇叭天线和二号扩频模块相连接，矢量网络分析模块与一号扩频模块、二号扩频模块和工控机相连接。本发明通过获得穿过等离子体的太赫兹波透射信号，反演等离子体电子密度、碰撞频率关键参数，提高了模型的准确度，无需侵入等离子体，适用于不同工艺和多种应用场景。

本发明授权等离子体参数瞬态太赫兹波透射测试装置、方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种等离子体参数瞬态太赫兹波透射测试装置的测试方法，其特征在于， 采用等离子体参数瞬态太赫兹波透射测试装置，所述等离子体参数瞬态太赫兹波透射测试装置包括依次设置的一号微波暗室、被测装置和二号微波暗室，所述被测装置内设置有等离子体；所述一号微波暗室内设置有一号扩频模块、发射喇叭天线和一号透镜，所述二号微波暗室内设置有二号扩频模块、二号透镜和接收喇叭天线，所述发射喇叭天线与一号扩频模块相连接，所述接收喇叭天线和二号扩频模块相连接；还包括矢量网络分析模块和工控机，所述一号扩频模块、二号扩频模块分别和矢量网络分析模块相连接，所述矢量网络分析模块与工控机相连接，所述一号微波暗室、发射喇叭天线、等离子体、接收喇叭天线和二号微波暗室之间均存在空气； 所述发射喇叭天线设置于一号透镜的焦点处，所述接收喇叭天线设置于二号透镜的焦点处，且一号透镜和二号透镜生成平面波范围的高度均大于等于被测等离子体的高度； 所述等离子体参数瞬态太赫兹波透射测试装置的测试方法包括以下步骤： 获取被测空间内不存在待测等离子体时测试装置的初始透射传输系数； 获取离散接收数据； 基于初始透射传输系数和离散接收数据，只考虑太赫兹波电场，获取测试装置随采样次数变化的透射传输系数； 设定等离子体中太赫兹波衰减常数和相位常数分别为时间的线性函数，基于电磁波传播模型获取测试装置的本征透射传输系数； 所述本征透射传输系数表示为： n表示第n次采样，m为测试时间内的总采样点数，ax和cx分别表示单次处理时间段内等离子体相对介电常数和损耗的初值电，bx和dx分别表示等离子体相对介电常数和损耗的变化速率，tm为总测试时间； 基于本征透射传输系数和随采样次数变化的透射传输系数，构建目标函数； 目标函数F表示为： 其中，为本征透射传输系数，S21n为随采样次数变化的透射传输系数；为每个单次处理时间段内的采样点数； 获取目标函数的最小值，基于该最小值，获取太赫兹波衰减常数和相位常数最优值； 基于太赫兹波衰减常数和相位常数最优值，获取等离子体电子密度和碰撞频率参数值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国电子科技集团公司第四十一研究所，其通讯地址为：266555 山东省青岛市经济技术开发区香江路98号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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