上海华力集成电路制造有限公司赵刘明获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利晶圆之间的量测值分布图的比较方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115329271B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210889886.4，技术领域涉及：G06F17/18；该发明授权晶圆之间的量测值分布图的比较方法是由赵刘明;刘丽媛;许鹏凯设计研发完成，并于2022-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆之间的量测值分布图的比较方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆之间的量测值分布图的比较方法，包括：步骤一、对2片需要比较的晶圆做相同的区域划分。步骤二、分别计算各晶圆的各区域的量测值的区域平均值以及总平均值。步骤三、计算k值，k值的计算公式为：步骤四、将计算得到的k和k0进行比较；当k小于k0时，则判断两片晶圆之间的量测值分布图匹配；当k大于等于k0时，则不匹配。本发明能实现自动化比较，具有高效率和良好的再现性。
本发明授权晶圆之间的量测值分布图的比较方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆之间的量测值分布图的比较方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤一、对2片需要比较的晶圆做相同的区域划分； 步骤二、分别计算各所述晶圆的各区域的量测值的区域平均值以及总平均值； 步骤三、计算k值，k值的计算公式为： 其中，k表示匹配参数，n表示各所述晶圆所划分的区域的数量，i表示所述晶圆的各区域的序号，Ai为第一片晶圆的第i区域的区域平均值，Bi为第二片晶圆的第i区域的区域平均值，为第一片晶圆的总平均值，为第二片晶圆的总平均值； 步骤四、将计算得到的k和k0进行比较；当k小于k0时，则判断两片所述晶圆之间的量测值分布图匹配；当k大于等于k0时，则判断两片所述晶圆之间的量测值分布图不匹配； k0为根据匹配要求设定的匹配参数预设值，所述匹配要求越高，k0越小。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海华力集成电路制造有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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