中国科学院上海硅酸盐研究所寇华敏获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海硅酸盐研究所申请的专利一种氟化钙晶体抗辐照损伤测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115165712B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210609098.5，技术领域涉及：G01N17/00；该发明授权一种氟化钙晶体抗辐照损伤测试方法是由寇华敏;王华进;苏良碧;张博;王静雅;姜大朋设计研发完成，并于2022-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氟化钙晶体抗辐照损伤测试方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种氟化钙晶体抗辐照损伤测试方法。所述方法采用X射线辐照氟化钙晶体而辐照诱导氟化钙晶体产生色心吸收峰的X射线辐照剂量以及辐照诱导出现的特征吸收峰的色心吸收系数来判断晶体的抗辐照损伤性能。
本发明授权一种氟化钙晶体抗辐照损伤测试方法在权利要求书中公布了：1.一种辅助判断氟化钙晶体于193nm激光光刻下的抗辐照损伤性能的定性定量测试方法，其特征在于，所述方法基于氟化钙晶体在193nm激光辐照诱导产生的色心吸收谱与X射线辐照诱导产生的色心吸收谱一致的特点和氟化钙晶体在193nm激光中损伤阈值表示方法脉冲数与X射线辐照试验中损伤阈值表示方法特征吸收峰吸收系数呈负相关关系的特点，采用X射线辐照氟化钙晶体而辐照诱导氟化钙晶体产生色心吸收峰的X射线辐照剂量以及辐照诱导出现的特征吸收峰的色心吸收系数来判断氟化钙晶体于193nm激光光刻下的抗辐照损伤性能； 所述方法包括：对氟化钙晶体进行X射线辐照，并对X射线辐照后的样品进行色心吸收光谱测试，观测X射线辐照后的氟化钙晶体是否出现色心吸收峰；对出现色心吸收峰的氟化钙晶体，采用X射线辐照的辐照剂量和特征吸收峰的色心吸收系数作为测试指标；对X射线辐照后未出现色心吸收峰的氟化钙晶体继续进行X射线辐照，直至X射线辐照后的样品进行色心吸收光谱测试出现色心吸收峰，则采用X射线辐照的总辐照剂量和特征吸收峰的色心吸收系数作为测试指标。
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