江苏超芯星半导体有限公司袁振洲获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏超芯星半导体有限公司申请的专利一种半导体材料电阻率检测方法及装置以及关系确定方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114966207B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210345171.2,技术领域涉及:G01R27/02;该发明授权一种半导体材料电阻率检测方法及装置以及关系确定方法是由袁振洲;刘欣宇设计研发完成,并于2022-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体材料电阻率检测方法及装置以及关系确定方法在说明书摘要公布了:本发明实施例公开了一种半导体材料电阻率检测方法及装置以及关系确定方法。半导体材料电阻率检测方法包括:紫外线光照射待测半导体材料;获取待测半导体材料的发光颜色;根据发光颜色确定颜色值;根据颜色值‑电阻率关系确定颜色值对应的电阻率。本发明实施例通过发光颜色即可确定半导体材料电阻率,无需进行切片等加工步骤以及精密检测仪器检测。提高了生产工艺过程中的检测效率,降低了检测成本。
本发明授权一种半导体材料电阻率检测方法及装置以及关系确定方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体材料电阻率检测方法,其特征在于,包括: 紫外线光照射待测半导体材料; 获取所述待测半导体材料的发光颜色; 根据所述发光颜色确定颜色值; 根据颜色值-电阻率关系确定所述颜色值对应的电阻率; 所述根据所述发光颜色确定颜色值包括,根据所述发光颜色确定RGB数值,根据所述RGB数值确定所述颜色值; 根据所述RGB数值确定所述颜色值,包括: 根据以下公式确定所述颜色值: A=65536*B+256*G+R; 其中,A为所述颜色值,B为所述RGB数值中的蓝色数值,G为所述RGB数值中的绿色数值,R为所述RGB数值中的红色数值。
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