应用材料公司康宗勋获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利保持设计文档内的分层结构信息获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114616597B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980101774.4，技术领域涉及：G06V30/414；该发明授权保持设计文档内的分层结构信息是由康宗勋;董银锋;洪诚谦;杨耀程;高再传设计研发完成，并于2019-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本保持设计文档内的分层结构信息在说明书摘要公布了：一种用于验证用于数字光刻的设计文档的验证设备，包括存储器及控制器。存储器包括设计文档。控制器被配置为访问设计文档，及向设计文档应用一个或多个合规性规则，以确定设计文档的合规性。合规性规则包括以下项目中的至少一者：检测设计文档内的非正交边缘；检测设计文档内的不合规重叠结构；及检测设计文档的参考层与设计文档的目标层之间的不合规交互作用。控制器更被配置为响应于将非正交边缘、不合规重叠结构、及不合规交互作用的数量与阈值进行的比较，来验证设计文档。
本发明授权保持设计文档内的分层结构信息在权利要求书中公布了：1.一种方法，包括以下步骤： 从存储器访问用于数字光刻设备的设计文档； 基于所述设计文档的一个或多个分层层中的单元结构之间的交互作用来在所述设计文档中检测感兴趣区域； 通过以下步骤向所述设计文档应用一个或多个合规性规则，以确定所述设计文档的合规性： 基于检测到第一结构的边缘与第二结构的边缘不正交，检测所述感兴趣区域内的非正交边缘，其中所述第一结构和所述第二结构相互重叠； 检测所述感兴趣区域内的不合规重叠结构；及 检测所述设计文档的参考层与所述设计文档的目标层之间的不合规交互作用；及 响应于将所述非正交边缘、所述不合规重叠结构、及所述不合规交互作用的数量与阈值进行的比较，来验证所述设计文档，其中经验证的所述设计文档被输出至所述数字光刻设备，以基于经验证的所述设计文档对基板进行图案化。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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