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龙图腾网获悉东京应化工业株式会社申请的专利抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112946998B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011423839.8，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法是由平野智之;平山文武;野村架奈;河野绅一;中川裕介设计研发完成，并于2020-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法在说明书摘要公布了：一种抗蚀剂组合物，含有树脂成分A1与增塑剂成分Z，树脂成分A1具有包含酸分解性基团的结构单元a1、以式a10‑1表示的结构单元a10，增塑剂成分Z具有以式z1‑1表示的结构单元z1且不含酸解离性基团，增塑剂成分Z的含量相对于树脂成分A1100质量份为50质量份以下，固体成分浓度为25质量％以上。式中，Wax1x1是芳香族烃基。Vz00是单键或不含酸解离性基团的2价烃基。Rz00是氢原子或不含酸解离性基团的烃基。[化1]

本发明授权抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法在权利要求书中公布了：1.一种抗蚀剂组合物，是通过曝光产生酸、并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化的抗蚀剂组合物，其特征在于，含有： 树脂成分A1，具有包含极性因酸的作用而增大的酸分解性基团的结构单元a1与以下述通式a10-1表示的结构单元a10； 增塑剂成分Z，具有以下述通式z1-1表示的结构单元z1，不含酸解离性基团， 所述增塑剂成分Z的含量相对于所述树脂成分A1100质量份为50质量份以下， 所述增塑剂成分Z的基于凝胶渗透色谱法换算为聚苯乙烯基准的重均分子量Mw为5000-200000， 固体成分浓度为25质量％以上， [化1] 式中，R为氢原子、碳数为1～5的烷基或碳数为1～5的卤代烷基，Yax1为单键或2价的连接基团，Wax1为可具有取代基的芳香族烃基，nax1为1以上的整数， [化2] 式中，R为氢原子、碳数为1～5的烷基或碳数为1～5的卤代烷基，Vz0为单键或可含杂原子的2价烃基，其中，Vz0为可含杂原子的2价烃基的情况下，Vz0不含酸解离性基团，Rz0为以下述通式z1-r-1表示的基团， [化3] 式中，Rz01是可具有取代基的烃基，Rz02是氢原子或可具有取代基的烃基，Rz01与Rz02可以相互键合而形成环结构，其中，Rz01与Rz02不含酸解离性基团，*是键。

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