东京毅力科创株式会社筒井拓郎获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利异常检测装置、异常检测方法及记录介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112885740B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011341480.X,技术领域涉及:H10P74/00;该发明授权异常检测装置、异常检测方法及记录介质是由筒井拓郎设计研发完成,并于2020-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本异常检测装置、异常检测方法及记录介质在说明书摘要公布了:提供一种能够执行高精度的异常检测处理的异常检测装置、异常检测方法及记录介质。该异常检测装置包括:取得部,取得在制造工艺的预定处理单元中伴随对象物的处理而测定出的时间序列数据组;以及学习部,包括对所取得的所述时间序列数据组进行处理的多个网络部、及对通过利用该多个网络部进行处理而输出的各输出数据进行合成的连接部,并且以使由该连接部输出的合成结果与在所述制造工艺的所述预定处理单元中对所述对象物进行处理时所取得的表示异常程度的信息接近的方式,针对所述多个网络部及所述连接部进行机器学习。
本发明授权异常检测装置、异常检测方法及记录介质在权利要求书中公布了:1.一种异常检测装置,包括: 取得部,取得在制造工艺的预定处理单元中伴随对象物的处理而测定出的时间序列数据组;以及 学习部,包括对由所述取得部所取得并针对每个小批量根据输出数据的数量进行尺寸调整处理后的所述时间序列数据组,即根据要由对应的网络部所进行的处理而被进行分支处理后的所述时间序列数据组分别进行处理的多个网络部、及对通过利用该多个网络部进行处理而输出的各输出数据进行合成的连接部,并且以使由该连接部输出的合成结果与在所述制造工艺的所述预定处理单元中对所述对象物进行处理时所取得的表示异常程度的信息接近的方式,针对所述多个网络部及所述连接部进行机器学习, 其中,以来自所述多个网络部各自的最终层的输出数据的数据尺寸为与各小批量的数据尺寸相对应的数据尺寸的方式,向所述连接部输出相同数据尺寸的输出数据。
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