东京应化工业株式会社砂道智成获国家专利权
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龙图腾网获悉东京应化工业株式会社申请的专利抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112445067B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010859849.X，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法是由砂道智成;中川裕介;米村幸治;平野智之;齐藤彩设计研发完成，并于2020-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种抗蚀剂组合物，其通过曝光产生酸并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化，其特征在于，含有对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分A与重均分子量为400以上的聚醚化合物，所述聚醚化合物的含量相对于所述基材成分A100质量份为0.8～32质量份，固体成分浓度为25质量％以上。
本发明授权抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法在权利要求书中公布了：1.一种抗蚀剂组合物，其通过曝光产生酸并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化，其特征在于，含有： 对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分A； 重均分子量为1000以上的聚乙二醇；与 通过曝光产生酸的产酸剂成分B， 相对于所述基材成分A100质量份，所述聚乙二醇的含量为0.8～32质量份， 所述产酸剂成分B具有以下述化学式ca-1-16或者下述通式ca-1-66表示的阳离子部， 式中，R”201为氢原子或取代基，所述取代基为烷基、卤素原子、卤代烷基、氰基、氨基、芳基或以通式ca-r-1～ca-r-7中的任一个表示的基团，R’201分别独立地为氢原子、可具有取代基的环式基、可具有取代基的链状烷基、或可具有取代基的链状烯基， 所述抗蚀剂组合物的固体成分浓度为25质量%以上。
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