中芯集成电路(宁波)有限公司忻治霖获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯集成电路(宁波)有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223872704U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423131091.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆清洗装置是由忻治霖;蔡棒设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆清洗装置，晶圆清洗装置包括：支撑件，所述支撑件用于支撑晶圆；喷头，所述喷头与所述支撑件相对设置，所述喷头包括连接设置的连接部和喷洒部，所述连接部连接清洗液供给装置，所述喷洒部相对所述连接部向靠近所述晶圆的边缘位置弯折，用于向所述晶圆的边缘位置喷洒清洗液。本申请通过喷洒部相对连接部向靠近晶圆的边缘位置弯折，能够有效减缓清洗液对晶圆边缘的直接冲击强度，改善清洗过程中清洗液飞溅的现象，进而促使更多的清洗液能够均匀且充分地与晶圆表面接触，显著增大了清洗液与晶圆之间的接触面积，如此不仅提升了晶圆边缘的清洗效率，还显著优化了生产良率。
本实用新型一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，所述晶圆清洗装置包括： 支撑件，所述支撑件用于支撑晶圆； 喷头，所述喷头与所述支撑件相对设置，所述喷头包括连接设置的连接部和喷洒部，所述连接部连接清洗液供给装置，所述喷洒部相对所述连接部向靠近所述晶圆的边缘位置弯折，用于向所述晶圆的边缘位置喷洒清洗液； 其中，所述喷洒部的喷洒方向与晶圆上表面中心到边缘方向连线的交角为锐角；且在垂直于所述晶圆的方向上，所述喷洒部靠近所述晶圆的一端至所述晶圆的距离小于或等于0.4厘米。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯集成电路(宁波)有限公司，其通讯地址为：315000 浙江省宁波市小港街道安居路335号3幢、4幢、5幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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