亦亨电子(上海)有限公司孙晓光获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉亦亨电子(上海)有限公司申请的专利一种用于干法刻蚀的磁场监控装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223871446U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520426054.8，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种用于干法刻蚀的磁场监控装置是由孙晓光;陈维国;杨晓锋;王杰设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于干法刻蚀的磁场监控装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于干法刻蚀的磁场监控装置，包括矩形框架，所述矩形框架底部均匀设置有调平组件，所述调平组件连接有调平板，所述调平板顶部连接有磁场监控主体，所述磁场监控主体顶部适配设置有顶盖，所述顶盖顶部安装有气泡水平仪；所述调平组件包括竖向设置的螺杆和套块，所述螺杆转动安装在矩形框架的四边角处，所述套块螺纹连接在螺杆上，所述套块的内侧部设置有铰接座，所述调平板的四边角对应铰接在套块的铰接座上。本实用新型属于刻蚀机的磁场监控技术领域，具体是指一种用于干法刻蚀的磁场监控装置。
本实用新型一种用于干法刻蚀的磁场监控装置在权利要求书中公布了：1.一种用于干法刻蚀的磁场监控装置，包括矩形框架1，其特征在于：所述矩形框架1底部均匀设置有调平组件2，所述调平组件2连接有调平板3，所述调平板3顶部连接有磁场监控主体4，所述磁场监控主体4顶部适配设置有顶盖5，所述顶盖5顶部安装有气泡水平仪6； 所述调平组件2包括竖向设置的螺杆7和套块8，所述螺杆7转动安装在矩形框架1的四边角处，所述套块8螺纹连接在螺杆7上，所述套块8的内侧部设置有铰接座9，所述调平板3的四边角对应铰接在套块8的铰接座9上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人亦亨电子(上海)有限公司，其通讯地址为：201613 上海市松江区中辰路225号第14幢一楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励