上海稷以科技有限公司郑长吉获国家专利权
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龙图腾网获悉上海稷以科技有限公司申请的专利一种工艺腔室控温装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223870997U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520675719.9，技术领域涉及：G05D23/22；该实用新型一种工艺腔室控温装置是由郑长吉;郝琳杰设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种工艺腔室控温装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种工艺腔室控温装置，包括PLC控制器、冷水机、测温热电偶、加热棒及工艺腔室。PLC控制器与各部件电连接，冷水机通过管路连工艺腔室，测温热电偶和加热棒设于腔室外壳上。装置与工艺配方功率设定关联，可设腔壁温度，依温度反馈控制加热启停，能自动调整使腔壁温度满足要求，提高等离子体去胶工艺稳定性。
本实用新型一种工艺腔室控温装置在权利要求书中公布了：1.一种工艺腔室控温装置，其特征在于：包括PLC控制器、冷水机、测温热电偶、加热棒以及工艺腔室，所述PLC控制器分别与冷水机、测温热电偶、加热棒电连接，所述冷水机通过管路与工艺腔室连接，所述测温热电偶和加热棒设置在工艺腔室外壳上。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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