中山市思格自动化科技有限公司苏杏伟获国家专利权
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龙图腾网获悉中山市思格自动化科技有限公司申请的专利一种半导体设备智能控制系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223870981U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520700726.X，技术领域涉及：G05B19/418；该实用新型一种半导体设备智能控制系统是由苏杏伟;焦丰;刘金宝;高俊杰设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备智能控制系统在说明书摘要公布了：一种半导体设备智能控制系统，包括内置运动控制板卡的工控机，通过以太网通信网络连接的耦合器，由多个轴控制模块依次串联形成的多层级轴控制链，集成于各轴控制模块的传感器与执行器模块，以及部署于工控机内与运动控制板卡通信的中央控制单元。轴控制模块含伺服或步进驱动器，控制不同轴运动。传感器单元有位置编码器、压力传感器和光学传感器，执行器单元有伺服、步进及旋转电机。该系统采用EtherCAT总线实现高效通信，通过多传感器融合与执行器协同控制，实现高精度、高效率、高可靠性的半导体生产控制，中央控制单元集成人机交互界面，支持多种参数配置与调度。
本实用新型一种半导体设备智能控制系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备智能控制系统，其特征在于，包括： 工控机1，其内部设有中央控制单元11，用于协调各轴运动与生产流程调度； 运动控制板卡2，通过工业以太网总线与所述中央控制单元11连接； 耦合器3，通过工业以太网总线与所述运动控制板卡2连接； 多层级轴控制链4，由多个轴控制模块通过工业以太网总线依次串联连接形成链式控制架构；所述轴控制模块包括伺服驱动器或和步进驱动器，分别用于控制半导体生产设备中X轴、Y轴、Z轴、R轴及纠偏轴的运动； 传感器与执行器模块5，集成于各个轴控制模块中，用于采集运动数据并执行控制指令。
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