源卓微纳科技(苏州)股份有限公司吕腾斐获国家专利权
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龙图腾网获悉源卓微纳科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种带环形照明的背面对准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223870956U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520352120.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种带环形照明的背面对准装置是由吕腾斐;李波;史月林;郑瑞;张雷设计研发完成，并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带环形照明的背面对准装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种带环形照明的背面对准装置，用于确定放置于装载部上的基底的精准定位，装载部上对应基底的背面对准标记处设有透光孔，本实用新型包括背面对准装置和第二照明部；第二照明部设于装载部上，且位于透光孔下方，且第二照明部上设有通孔，通孔与所述透光孔同轴设置；背面对准装置包括镜筒，镜筒一端连接有成像部，其另一端连接有光路转折部，镜筒上且位于成像部和光路转折部之间还设有第一照明部，且光路转折部位于所述第二照明部下方。本实用新型达到了更加均匀和稳定的光照效果的同时，满足了不同材质的基材的对准应用场景需求；另外，本实用新型调试焦面时间短，提高对准装置运行稳定性的同时，提高了产品良率。
本实用新型一种带环形照明的背面对准装置在权利要求书中公布了：1.一种带环形照明的背面对准装置，用于确定放置于装载部100上的基底的精准定位，所述装载部100上对应基底的背面对准标记处设有透光孔101，其特征在于，包括背面对准装置200和第二照明部300； 所述第二照明部300设于所述装载部100上，且位于所述透光孔101下方，且第二照明部300上设有通孔302，所述通孔302与所述透光孔101同轴设置； 所述背面对准装置200包括镜筒201，所述镜筒201一端连接有成像部202，其另一端连接有光路转折部203，镜筒201上且位于成像部202和光路转折部203之间还设有第一照明部204，且所述光路转折部203位于所述第二照明部300下方。
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