赣州科视光学科技有限公司陈志特获国家专利权
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龙图腾网获悉赣州科视光学科技有限公司申请的专利一种DI光刻机成像镜头主动防污染装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223870955U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520150981.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种DI光刻机成像镜头主动防污染装置是由陈志特;吴中海设计研发完成，并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种DI光刻机成像镜头主动防污染装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供的一种DI光刻机成像镜头主动防污染装置，包含防尘玻璃固定座、防尘玻璃、风刀模块，防尘玻璃固定座上设置有安装孔，防尘玻璃设置于安装孔上，风刀模块包含风刀主体、阀门，风刀主体包含集气腔、与集气腔连通的出气缝隙，阀门与集气腔连通，通过阀门向集气腔供气，出气缝隙处可吹出将安装孔底端面闭合的气幕。将防尘玻璃固定座安装在镜头镜筒的一端，镜头工作时可透过防尘玻璃出光，防尘玻璃可以阻挡灰尘进入镜筒内，通过阀门向集气腔内供气，出气缝隙处将吹出形成在安装孔底端面上的气幕，可以有效隔离灰尘和污染性气体对防尘玻璃的污染和聚集，确保防尘玻璃表面洁净，提高成像质量，无需对防尘玻璃进行人工清洁，省心省力。
本实用新型一种DI光刻机成像镜头主动防污染装置在权利要求书中公布了：1.一种DI光刻机成像镜头主动防污染装置，其特征在于，包含防尘玻璃固定座、防尘玻璃、风刀模块，所述防尘玻璃固定座上设置有与所述防尘玻璃匹配的安装孔，所述防尘玻璃设置于所述安装孔上，所述风刀模块包含安装在所述防尘玻璃固定座底部的风刀主体、阀门，所述风刀主体包含集气腔、与所述集气腔连通的出气缝隙，所述阀门与所述集气腔连通，通过所述阀门向所述集气腔供气，所述出气缝隙处可吹出将所述安装孔底端面闭合的气幕。
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