厦门蚨祺自动化设备有限公司陈德珍获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门蚨祺自动化设备有限公司申请的专利一种晶圆缺陷检查机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223870562U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520193877.0，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型一种晶圆缺陷检查机是由陈德珍;潘跃清设计研发完成，并于2025-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆缺陷检查机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆缺陷检查机，其包括：控制器；机台，其上设有晶圆上料工位；预定位装置，用于调整晶圆的位置；宏观检装置，包括正面检机构和背面检机构，所述正面机构用于吸附晶圆的背面并驱动晶圆旋转；所述背面检机构用于吸附晶圆的背面并驱动晶圆翻转；移动装置，包括移动机构以及用于吸附晶圆的拾取件，所述移动机构驱动拾取件在上料工位、预定位装置和宏观检装置之间移动。本实用新型能够直接将晶圆抓取进行检查，而且晶圆翻转检查方便。
本实用新型一种晶圆缺陷检查机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检查机，其特征在于，包括： 机台，所述机台上设有上料工位，所述上料工位用于定位放置料盒，或者，所述上料工位与外部晶圆传送装置的输出端配合进行晶圆定位； 预定位装置，设置在所述机台上，所述预定位装置用于调整晶圆的位置； 宏观检装置，设置在所述机台上，所述宏观检装置包括正面检机构和背面检机构，所述正面机构用于吸附晶圆的背面并驱动晶圆旋转；所述背面检机构用于吸附晶圆的背面并驱动晶圆翻转； 移动装置，设置在所述机台上，所述移动装置包括移动机构以及用于吸附晶圆的拾取件，所述移动机构驱动拾取件在上料工位、预定位装置和宏观检装置之间移动； 控制器，连接所述预定位装置、宏观检装置和移动装置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人厦门蚨祺自动化设备有限公司，其通讯地址为：361000 福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区翔星路88号台湾科技企业育成中心北W1004C室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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