江苏集芯先进材料有限公司章卫东获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏集芯先进材料有限公司申请的专利衬底片目检装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223870549U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423299817.1,技术领域涉及:G01N21/88;该实用新型衬底片目检装置是由章卫东设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底片目检装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种衬底片目检装置,包括底座、旋转部件、载台、调节部件、伸缩部件和控制部件,旋转部件安装在底座上,旋转部件上部安装有壳体,壳体侧壁周向均布有至少三个第一条形孔;载台安装在壳体顶部,载台上部径向均布有至少三个条形凹槽,条形凹槽底部开设有第二条形孔;调节部件包括调节螺母、调节螺杆和驱动件,驱动件安装在旋转件上,调节螺母套装在调节螺杆上;伸缩部件包括拉伸杆和滑块,滑块安装在条形凹槽内,滑块顶部安装有支撑柱,拉伸杆一端穿过第一条形孔与调节螺母侧壁铰接,另一端穿过第二条形孔与滑块底部铰接;控制部件与驱动件电连接。本实用新型能够承载各种尺寸的衬底片,以便对衬底片表面及边缘位置进行检查。
本实用新型衬底片目检装置在权利要求书中公布了:1.一种衬底片目检装置,其特征在于,包括 底座; 旋转部件,所述旋转部件安装在所述底座上,且所述旋转部件相对于所述底座可转动,所述旋转部件上部安装有壳体,所述壳体侧壁周向均布有至少三个第一条形孔; 载台,所述载台安装在所述壳体顶部,所述载台上部径向均布有至少三个条形凹槽,所述条形凹槽底部开设有第二条形孔; 调节部件,所述调节部件置于所述壳体内,所述调节部件包括调节螺母、调节螺杆、驱动件,所述驱动件安装在所述旋转部件上,所述调节螺杆底部与所述驱动件相连,所述调节螺母套装在所述调节螺杆上; 伸缩部件,所述伸缩部件包括拉伸杆和滑块,所述滑块安装在所述条形凹槽内,所述滑块顶部安装有用于支撑衬底片的支撑柱,所述拉伸杆一端穿过所述第一条形孔与所述调节螺母侧壁铰接,另一端穿过第二条形孔与所述滑块底部铰接; 控制部件,所述控制部件分别与驱动件和电源电连接。
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