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龙图腾网获悉昇澜半导体(常州)有限公司申请的专利一种PZT薄膜晶圆表面缺陷检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223870523U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520185326.X，技术领域涉及：G01N21/01；该实用新型一种PZT薄膜晶圆表面缺陷检测装置是由黄静龙;董超设计研发完成，并于2025-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种PZT薄膜晶圆表面缺陷检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种PZT薄膜晶圆表面缺陷检测装置，本实用新型涉及晶圆缺陷检测技术领域。该PZT薄膜晶圆表面缺陷检测装置，通过设置第一转轴、第一齿轮、扇形齿轮、第二转轴、调节杆、第二连接槽、转动板、连接柱、第三转轴、滑块、第二支撑板、第一连接槽和第一连接架，实现了对PZT薄膜晶圆进行翻转的功能，第三转轴转动带着转动板和连接柱进行转动，连接柱转动时在第二连接槽内不断进行移动，带着调节杆来回摆动，调节杆转动通过第二转轴带着扇形齿轮进行来回摆动，扇形齿轮转动通过第一齿轮带着第一转轴进行转动，方便镭射光发射器本体对PZT薄膜晶圆的另一侧进行检测。

本实用新型一种PZT薄膜晶圆表面缺陷检测装置在权利要求书中公布了：1.一种PZT薄膜晶圆表面缺陷检测装置，包括底座1，其特征在于：所述底座1的顶部滑动连接有支撑架2，所述支撑架2的顶部一端固定连接有第一支撑板3，所述支撑架2远离第一支撑板3的一端固定连接有第二支撑板4，所述第一支撑板3的顶部固定连接有连接板31，所述第二支撑板4的顶部固定连接有第一连接架6，所述第二支撑板4的顶部开设有贯穿其表面的第一连接槽5，所述第二支撑板4的顶部转动连接有第一转轴7，所述第一转轴7的一端固定连接有连接框32，所述连接框32远离第一转轴7的一端与连接板31转动连接，所述第一转轴7的外侧固定连接有第一齿轮8，所述第一连接架6的顶部转动连接有第二转轴10，所述第二转轴10的一端固定连接有扇形齿轮9，所述扇形齿轮9的一侧与第一齿轮8啮合连接，所述第二转轴10的外侧固定连接有调节杆11，所述第二支撑板4的顶部且远离第一转轴7的一侧转动连接有第三转轴15，所述第三转轴15的一端固定连接有转动板13，所述转动板13的一侧固定连接有连接柱14，所述调节杆11的一侧开设有贯穿其表面的第二连接槽12，所述连接柱14的外侧与第二连接槽12滑动连接，所述底座1的一侧固定连接有第三连接架24，所述第三连接架24的底部安装有镭射光发射器本体25。

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