鑫业诚智能装备(无锡)有限公司陈叶金获国家专利权
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龙图腾网获悉鑫业诚智能装备(无锡)有限公司申请的专利一种适用于晶圆产品多缺陷检测的光学结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223870521U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520167007.6，技术领域涉及：G01N21/01；该实用新型一种适用于晶圆产品多缺陷检测的光学结构是由陈叶金;艾志明;刘少康设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于晶圆产品多缺陷检测的光学结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体晶圆光学检测领域，具体提供了一种适用于晶圆产品多缺陷检测的光学结构，包括线扫相机、线扫镜头和线扫光源，所述线扫光源包括第一线光源、第二线光源、第三线光源，用于晶圆产品检测照明；所述第一线光源用于检测晶圆产品表面划伤和针痕异常；第二线光源用于检测晶圆产品色差；第三线光源用于检测晶圆产品上的黑点和固定点划伤；本实用新型设置线扫光源配合线扫相机和线扫镜头检测使用，能够提高对于晶圆产品的检测效果和检测效果；本实用新型对构成线扫光源的多个线光源的出射光线角度进行合理设计，构成多种照明功能，单次就能够实对晶圆产品的多种缺陷检测，极大的提高了产线工作效率。
本实用新型一种适用于晶圆产品多缺陷检测的光学结构在权利要求书中公布了：1.一种适用于晶圆产品多缺陷检测的光学结构，包括线扫相机1和装于线扫相机1采集端的线扫镜头2； 其特征在于：包括线扫光源，所述线扫光源包括第一线光源3、第二线光源4、第三线光源5，用于晶圆产品检测照明2； 所述第一线光源3的出射光线与水平面之间具有第一夹角a，所述第一夹角a的角度为18°～22°，用于检测晶圆产品表面划伤和针痕异常； 所述第二线光源4的出射光线与水平面之间具有第二夹角b，所述第二夹角b的角度为43°～47°，用于检测晶圆产品色差； 所述第三线光源5的出射光线与水平面之间具有第三夹角c，所述第三夹角c的角度为67°～83°，用于检测晶圆产品上的黑点和固定点划伤。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人鑫业诚智能装备(无锡)有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市锡山区安镇街道先锋中路6号中国电子(无锡)数字芯谷5#-B101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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