苏州联讯仪器股份有限公司钟睿获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州联讯仪器股份有限公司申请的专利一种硅光晶圆测试设备和硅光晶圆测试系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223870284U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423324294.1，技术领域涉及：G01M11/02；该实用新型一种硅光晶圆测试设备和硅光晶圆测试系统是由钟睿;赵山设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅光晶圆测试设备和硅光晶圆测试系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅光晶圆测试设备，包括相机组件、偏折光路组件、探针台、光纤耦合模组；用于驱动探针台和偏折光路组件相互切换的移动至相机组件和光纤阵列的光纤端部的下方的驱动组件；夹持光纤阵列的光纤端部的光纤耦合模组；当探针台移动至相机组件的下方时，将相机组件的摄像头的十字光标调整至和硅光晶圆的切割道相互平行；当偏折光路组件移动至相机组件的成像视野内时，相机组件用于通过偏折光路组件采集第一侧向图像和第二侧向图像，并采集垂直图像；利用光纤耦合模组根据上述图像将光纤端部进行调节，以使光纤端部和光波导之间对位耦合。本申请中简化了实现光纤端部和硅光波导之间对位耦合的操作难度和设备结构，降低设备成本。
本实用新型一种硅光晶圆测试设备和硅光晶圆测试系统在权利要求书中公布了：1.一种硅光晶圆测试设备，其特征在于，包括相机组件；偏折光路组件；用于承载硅光晶圆的探针台；光纤耦合模组；以及驱动组件； 其中，所述驱动组件用于驱动所述探针台和所述偏折光路组件相互切换的移动至所述相机组件的成像视野内； 当所述驱动组件驱动所述偏折光路组件位于所述相机组件的成像视野内时，所述光纤端部和所述相机组件的摄像头分别位于所述偏折光路组件的光路中，所述相机组件通过所述偏折光路组件采集所述光纤端部的至少两个方向的侧向画面对应的图像； 末端连接结构用于夹持所述光纤端部的光纤耦合模组，用于驱动所述光纤端部进行第一方向、第二方向和第三方向的平移移动，以及驱动所述光纤端部分别以第一旋转轴、第二旋转轴、第三旋转轴为中心旋转；其中，所述第一方向和所述第一旋转轴平行、所述第二方向和所述第二旋转轴平行、所述第三方向和所述第三旋转轴平行，且所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直。
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