苏州联讯仪器股份有限公司李大伦获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州联讯仪器股份有限公司申请的专利一种硅光晶圆测试设备及其对位耦合机构以及测试系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223870283U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423324200.0，技术领域涉及：G01M11/02；该实用新型一种硅光晶圆测试设备及其对位耦合机构以及测试系统是由李大伦;赵山设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅光晶圆测试设备及其对位耦合机构以及测试系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅光晶圆测试设备及其对位耦合机构、测试系统，该对位耦合机构包括：依次相连接的光纤耦合模组、压电位移台和末端连接结构；光纤耦合模组包括依次串联连接的三个平移组件和三个旋转组件；三个平移组件分别用于驱动末端连接结构沿第一方向、第二方向和第三方向进行平移运动，三个旋转组件分别用于驱动末端连接结构以第一旋转轴、第二旋转轴、第三旋转轴为中心旋转；第一方向、第二方向和第三方向两两垂直；第一旋转轴、第二旋转轴和第三旋转轴两两垂直。本申请中的每个组件仅需实现一个自由度上的运动调节，功能单一，有利于运动调节的精准控制，且各组件之间只需要依次串联拼接连接即可，简单易实现，有利于降低设备成本。
本实用新型一种硅光晶圆测试设备及其对位耦合机构以及测试系统在权利要求书中公布了：1.一种硅光晶圆测试设备的对位耦合机构，其特征在于，包括光纤耦合模组；和所述光纤耦合模组相连接的压电位移台；以及和所述压电位移台固定连接，用于连接光纤阵列端部或单根光纤端部的末端连接结构； 其中，所述光纤耦合模组包括依次串联连接的三个平移组件和三个旋转组件；三个所述平移组件分别用于驱动所述末端连接结构沿第一方向、第二方向和第三方向进行平移运动三个所述旋转组件分别用于驱动所述末端连接结构以第一旋转轴、第二旋转轴、第三旋转轴为中心旋转；所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直；所述第一旋转轴、所述第二旋转轴和所述第三旋转轴两两垂直。
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