无锡卓海科技股份有限公司周擎天获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利一种薄膜应力检测装置及系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223870219U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520607337.2，技术领域涉及：G01L1/24；该实用新型一种薄膜应力检测装置及系统是由周擎天;相宇阳;俞胜武设计研发完成，并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜应力检测装置及系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种薄膜应力检测装置及系统，包括检测模块、扫描模块和处理模块；检测模块包括激光单元、可调衰减单元和检测单元；检测模块与扫描模块固定连接，扫描模块和检测单元均与处理模块电连接；扫描模块带动检测模块沿第一方向位移以扫描待测薄膜，并获取检测模块的位移数据；激光单元出射的检测激光通过可调衰减单元后入射至待测薄膜的表面，并经待测薄膜的表面反射后入射至检测单元，检测单元获取检测激光在不同位置处入射至待测薄膜的光斑运动数据；处理模块根据位移数据和光斑运动数据计算待测薄膜的应力。本实用新型提供的应力检测装置不仅简化校准流程，减小测量误差，而且还可以检测更大反射率范围的材料。
本实用新型一种薄膜应力检测装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种薄膜应力检测装置，其特征在于，包括检测模块、扫描模块和处理模块；所述检测模块包括激光单元、可调衰减单元和检测单元； 所述检测模块与所述扫描模块固定连接，所述扫描模块和所述检测单元均与所述处理模块电连接； 所述扫描模块带动所述检测模块沿第一方向位移以扫描待测薄膜，并获取所述检测模块的位移数据； 所述激光单元出射的检测激光通过所述可调衰减单元后入射至所述待测薄膜的表面，并经所述待测薄膜的表面反射后入射至所述检测单元，所述检测单元获取所述检测激光在不同位置处入射至所述待测薄膜的光斑运动数据； 所述处理模块根据所述位移数据和所述光斑运动数据计算所述待测薄膜的应力； 其中，所述第一方向与所述待测薄膜所在的平面平行。
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