弘塑科技股份有限公司黄立佐获国家专利权
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龙图腾网获悉弘塑科技股份有限公司申请的专利晶圆干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223869708U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520505845.X，技术领域涉及：F26B9/06；该实用新型晶圆干燥装置是由黄立佐;吴进原;张修凯;许明哲设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆干燥装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆干燥装置。晶圆干燥装置包括槽体、放置平台、干燥平台、外部气源和晶舟。外部气源连接至干燥平台，用于提供干燥气体。晶舟用于承载多个晶圆。晶舟放置在放置平台上，以及所述多个晶圆的底端抵靠在干燥平台上，以通过外部气源提供的干燥气体去除附着在所述多个晶圆的底端的液体。
本实用新型晶圆干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆干燥装置，其特征在于，包括： 槽体，具有底壁、多个侧壁和开口，其中所述多个侧壁环绕所述底壁，并且所述开口设置于所述槽体上方； 放置平台和干燥平台，设置于靠近所述底壁； 外部气源，连接至所述干燥平台，用于提供干燥气体；以及 晶舟，用于承载多个晶圆，其中所述晶舟通过所述开口进入所述槽体内，并且放置在所述放置平台上，以及所述多个晶圆的底端抵靠在所述干燥平台上，以通过所述外部气源提供的所述干燥气体去除附着在所述多个晶圆的所述底端的液体。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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