深圳市汉盛制冷科技有限公司陈应艺获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市汉盛制冷科技有限公司申请的专利冷却液供应装置及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223869508U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520214185.X，技术领域涉及：F25B1/00；该实用新型冷却液供应装置及半导体加工设备是由陈应艺;温德烙;段理峰;郭召永;吕启涛设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本冷却液供应装置及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种冷却液供应装置及半导体加工设备，冷却液供应装置包括压缩机、冷凝器、第一蒸发器和第二蒸发器、第一容器、第二容器、第一温度传感器和第二温度传感器和阀门组件，压缩机、冷凝器、第一蒸发器构成第一循环回路，压缩机、冷凝器、第二蒸发器构成第二循环回路；第一蒸发器用于对所述第一容器中的冷却液制冷，所述第二蒸发器用于对所述第二容器中的冷却液制冷。通过阀门组件控制所述第一循环回路和第二循环回路的流量，可使第一容器和第二容器中的冷却液温度保持在相同或不同的设定温度，分别用于供给外部的加工主轴和刀具，第一温度传感器和第二温度传感器则用于监控冷却液温度。此外本装置仅采用一个压缩机，其设备成本更低。
本实用新型冷却液供应装置及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种冷却液供应装置，其特征在于，包括压缩机、冷凝器、第一蒸发器和第二蒸发器；所述压缩机、冷凝器、第一蒸发器构成第一循环回路，所述压缩机、冷凝器、第二蒸发器构成第二循环回路； 所述冷却液供应装置还包括： 阀门组件，用于控制所述第一循环回路和第二循环回路的流量； 第一容器，用于容纳冷却液，并由所述第一蒸发器对所述第一容器中的冷却液制冷； 第二容器，用于容纳冷却液，并由所述第二蒸发器对所述第二容器中的冷却液制冷； 第一温度传感器，设于所述第一容器中； 第二温度传感器，设于所述第二容器中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市汉盛制冷科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区福海街道展城社区重庆路大族激光工业园厂房6栋301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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