江苏鲁汶仪器股份有限公司郑德伟获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利半导体加工设备及其阀件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223868556U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423318483.8，技术领域涉及：F16K1/22；该实用新型半导体加工设备及其阀件是由郑德伟;尹格华;叶鹏;刘海洋;胡冬冬;彭泰彦;石小丽;许开东设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体加工设备及其阀件在说明书摘要公布了：本申请公开了一种半导体加工设备及其阀件，阀件包括阀体、阀板和驱动部件；所述阀体包括上腔、下腔和多个阀口，所述上腔通过所述阀口与所述下腔连通；多个所述阀口分为两个阀口组，两个所述阀口组相对第一水平中心线对称布置，每个所述阀口处对应设有一个所述阀板，所述驱动部件用于同步驱动多个所述阀板转动以开启或关闭对应的所述阀口。通过对阀件的结构改进，为提升刻蚀过程中的流场均匀性提供了技术支持，有利于提高半导体加工设备的加工质量。
本实用新型半导体加工设备及其阀件在权利要求书中公布了：1.半导体加工设备的阀件，其特征在于，包括阀体21、阀板22和驱动部件23；所述阀体21包括上腔213、下腔214和多个阀口215，所述上腔213通过所述阀口215与所述下腔214连通；多个所述阀口215分为两个阀口组，两个所述阀口组相对第一水平中心线对称布置，每个所述阀口215处对应设有一个所述阀板22，所述驱动部件23用于同步驱动多个所述阀板22转动以开启或关闭对应的所述阀口215。
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