浙江晶瑞电子材料有限公司曹建伟获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶瑞电子材料有限公司申请的专利一种单晶生长炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223866835U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520321004.3,技术领域涉及:C30B29/36;该实用新型一种单晶生长炉是由曹建伟;欧阳鹏根;胡建荣;曹博;黄俊;汪传勇;唐永刚设计研发完成,并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单晶生长炉在说明书摘要公布了:本申请公开了一种单晶生长炉,该单晶生长炉包括炉体以及加热机构,炉体围合形成炉腔;加热机构位于炉腔内,加热机构包括下加热器、侧加热器及上加热器组件,下加热器、侧加热器及上加热器组件围合形成用于容置加热容器并加热原料的加热腔;上加热器组件包括独立设置的内加热器和外加热器。本申请提供的一种单晶生长炉,通过内加热器和外加热器的共同作用,使得晶体生长区域各处的温度均匀,减小晶体生长区域的中间位置与边缘位置之间的温度差,降低晶体生长区域的径向温度梯度,从而减小生长晶体的应力,避免晶体开裂,提升晶体晶片电阻率的均匀性。
本实用新型一种单晶生长炉在权利要求书中公布了:1.一种单晶生长炉100,其特征在于,包括: 炉体11,所述炉体围合形成炉腔111;以及 加热机构12,所述加热机构12位于所述炉腔111内,所述加热机构12包括下加热器121、侧加热器122及上加热器组件123,所述下加热器121、所述侧加热器122及所述上加热器组件123围合形成用于容置加热容器并加热原料的加热腔124;所述上加热器组件123包括独立设置的内加热器1231和外加热器1232; 定义一个垂直于所述炉腔111的轴线的预设平面102,所述内加热器1231在所述预设平面102内的正投影为内投影,所述外加热器1232在所述预设平面102内的正投影为外投影,所述内投影位于所述外投影的内部。
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