先进材料解决方案有限公司查德·费罗获国家专利权
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龙图腾网获悉先进材料解决方案有限公司申请的专利多晶硅生产过程中的化学气相沉积反应器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223866833U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423015361.1,技术领域涉及:C30B28/14;该实用新型多晶硅生产过程中的化学气相沉积反应器是由查德·费罗;戴夫·凯克设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本多晶硅生产过程中的化学气相沉积反应器在说明书摘要公布了:本实用新型的多晶硅生产过程中的化学气相沉积反应器包括:至少一个反应室;以及多个细丝组件,其沿着以反应室的中心为圆心的圆周布置;每个细丝组件包括:细丝,其包括一对垂直部分和将一对垂直部分顶部水平连接的桥,一对垂直部分的底部分别连接到一对电极,细丝由电流加热;以及一对传热夹套,其包围细丝的一对垂直部分,各传热夹套包括双层壁,双层壁包括容纳传热介质的空间,每个传热夹套包括至少一个传热介质入口和至少一个传热介质出口,每个传热夹套包括:围绕一对垂直部分的主体部分,主体部分的上部位于桥的下方;以及连接到主体部分的延伸部分,延伸部分设置为面向桥的一侧,延伸部分的上边缘高于桥的底部,传热介质出口位于延伸部分。
本实用新型多晶硅生产过程中的化学气相沉积反应器在权利要求书中公布了:1.一种多晶硅生产过程中的化学气相沉积反应器,其特征在于, 所述反应器包括: 至少一个反应室;以及 多个细丝组件,所述多个细丝组件沿着以所述反应室的中心为圆心的圆周布置; 其中每个细丝组件包括: 细丝,其中所述细丝包括一对垂直部分和将所述一对垂直部分顶部水平连接的桥,并且其中所述一对垂直部分的底部分别连接到一对电极,并且其中所述细丝由通过所述一对电极施加的电流加热;以及 一对传热夹套,所述一对传热夹套包围所述细丝的所述一对垂直部分,每个传热夹套包括双层壁,其中所述双层壁包括在其中容纳传热介质的空间,并且每个传热夹套包括用于将所述传热介质提供到所述双层壁的空间中的至少一个传热介质入口和用于排出所述传热介质的至少一个传热介质出口, 其中每个传热夹套包括围绕所述一对垂直部分的主体部分,其中所述主体部分的上部位于所述桥的下方,以及连接到所述主体部分的延伸部分,其中所述延伸部分设置为面向所述桥的一侧,并且所述延伸部分的上边缘高于所述桥的底部,并且其中所述传热介质出口位于所述延伸部分以增强辐射热传递, 其中,所述延伸部分的弧形中心角相对于所述主体部分超过180度。
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