费勉仪器科技(南京)有限公司卓然获国家专利权
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龙图腾网获悉费勉仪器科技(南京)有限公司申请的专利坩埚、真空炉源以及真空处理系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223866829U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520457164.0，技术领域涉及：C30B23/06；该实用新型坩埚、真空炉源以及真空处理系统是由卓然;高汉超;张朱锋;陈冬冬;葛九文设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本坩埚、真空炉源以及真空处理系统在说明书摘要公布了：本公开涉及真空设备技术领域，公开了一种坩埚、真空炉源以及真空处理系统。一种坩埚，包括坩埚主体和导流部分。坩埚主体，用于承载源材料。导流部分，位于坩埚主体的远端，并与坩埚主体连通，用于允许从源材料蒸发的束流通过，导流部分包括导流热解氮化硼PBN本体层和导流导热层。导流热解氮化硼PBN本体层，位于导流部分内侧。导流导热层，覆盖导流PBN本体层的外壁，用于阻挡并传导热量至导流PBN本体层。
本实用新型坩埚、真空炉源以及真空处理系统在权利要求书中公布了：1.一种坩埚，其特征在于，包括： 坩埚主体，用于承载源材料；以及 导流部分，位于所述坩埚主体的远端，并与所述坩埚主体连通，用于允许从所述源材料蒸发的束流通过，所述导流部分包括： 导流热解氮化硼PBN本体层，位于所述导流部分内侧；以及 导流导热层，覆盖所述导流热解氮化硼PBN本体层的外壁，用于阻挡并传导热量至所述导流热解氮化硼PBN本体层。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人费勉仪器科技(南京)有限公司，其通讯地址为：210000 江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区3号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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