南京盛鑫半导体材料有限公司;南京国盛电子有限公司张勇成获国家专利权
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龙图腾网获悉南京盛鑫半导体材料有限公司;南京国盛电子有限公司申请的专利一种颗粒阻隔装置及单片外延设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223866828U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520400437.8,技术领域涉及:C30B23/02;该实用新型一种颗粒阻隔装置及单片外延设备是由张勇成;曹奇;邢亮设计研发完成,并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种颗粒阻隔装置及单片外延设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种颗粒阻隔装置及单片外延设备,包括门阀凹槽挡塞、凹孔挡塞、连接带,当门阀凹槽挡塞插入门阀凹槽时,门阀凹槽挡塞一侧将门阀凹槽完全遮挡;所述凹孔挡塞上端开放下端封闭,呈上宽下窄的漏斗形,所述连接带一端与门阀凹槽挡塞连接,另一端与凹孔挡塞连接。本实用新型通过门阀凹槽挡塞和凹孔挡塞阻隔并收集飞散颗粒,防止颗粒渗入至内部机械机构和凹槽中而不易被清洁完全,改善设备内部生产环境的洁净度,进而提升了外延产品的成品率,与此同时,还降低了设备内部机械结构因颗粒积累造成的机械损坏风险。
本实用新型一种颗粒阻隔装置及单片外延设备在权利要求书中公布了:1.一种颗粒阻隔装置,其特征在于,包括门阀凹槽挡塞1、凹孔挡塞2、连接带3,所述凹孔挡塞2上端开放下端封闭,呈上宽下窄的漏斗形,所述连接带3一端与门阀凹槽挡塞1连接,另一端与凹孔挡塞2连接。
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