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天通日进精密技术有限公司郁昕彦获国家专利权

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龙图腾网获悉天通日进精密技术有限公司申请的专利晶体生长设备及其坩埚机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223866826U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520466732.3,技术领域涉及:C30B15/14;该实用新型晶体生长设备及其坩埚机构是由郁昕彦;王诚;李晓杰;褚姚俊;张超武;周杰设计研发完成,并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

晶体生长设备及其坩埚机构在说明书摘要公布了:本申请公开一种晶体生长设备及其坩埚机构,所述坩埚机构包括坩埚;坩埚升降装置,包括坩埚升降轴、以及用于驱动坩埚升降轴做升降运动的坩埚升降驱动部;坩埚加热装置,包括:第一加热组件,包括加热底部的第一加热部、连接第一加热部的第一对电极、以及通过升降运动带动第一加热部与坩埚的底部维持预设间距的第一加热升降机构;其中,第一加热部包括由至少两并列的条状加热元件在平面上连续弯折拼成的呈板状的主体部以及相对两侧的凸耳,至少两并列的条状加热元件之间具有供坩埚升降轴穿过的空间,凸耳上形成有用于将第一加热部连接于第一对电极的安装部;第二加热组件,包括加热侧壁的呈环形的第二加热部以及连接于第二加热部的第二对电极。

本实用新型晶体生长设备及其坩埚机构在权利要求书中公布了:1.一种坩埚机构,其特征在于,包括: 坩埚,包括由侧壁和底部合围形成的用于盛放硅材料的容纳空间; 坩埚升降装置,配置于所述坩埚的底部,包括连接于所述底部的坩埚升降轴、以及用于驱动所述坩埚升降轴做升降运动的坩埚升降驱动部; 坩埚加热装置,包括: 第一加热组件,包括设置于所述坩埚的底部以加热所述底部的第一加热部、连接于所述第一加热部相对两侧的第一对电极、以及连接于所述第一对电极以通过升降运动带动所述第一加热部与所述坩埚的底部维持预设间距的第一加热升降机构;其中,所述第一加热部包括由至少两并列的条状加热元件在平面上连续弯折拼成的呈板状的主体部以及位于所述主体部相对两侧的凸耳,所述至少两并列的条状加热元件之间具有供所述坩埚升降轴穿过的空间,所述凸耳上形成有用于将所述第一加热部连接于所述第一对电极的安装部; 第二加热组件,包括围绕所述侧壁设置以加热所述侧壁的呈环形的第二加热部以及连接于所述第二加热部相对两侧的第二对电极。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人天通日进精密技术有限公司,其通讯地址为:314400 浙江省嘉兴市海宁市经济开发区双联路129号6号楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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