天通日进精密技术有限公司周杰获国家专利权
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龙图腾网获悉天通日进精密技术有限公司申请的专利晶体生长设备及其冷却装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223866823U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520404460.4,技术领域涉及:C30B15/00;该实用新型晶体生长设备及其冷却装置是由周杰;郁昕彦;王诚;李晓杰;褚姚俊;张超武;裴忠;杨晓红设计研发完成,并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶体生长设备及其冷却装置在说明书摘要公布了:本申请公开一种晶体生长设备及其冷却装置,其中,所述冷却装置配置于晶体生长设备的炉底盘上,所述炉底盘上设置有用于安装多个底盘组件的多个孔位,所述冷却装置包括:进液管路,用于接收冷却介质;至少一冷却支路,其具有连通所述进液管路的入口端和出口端,所述入口端和出口端之间串联连通有至少两个环绕所述孔位的冷却环路,各所述冷却环路之间通过嵌设于或附贴于所述炉底盘的连通管路连通以使得所述冷却介质自所述入口端依次通过各冷却环路对相应孔位的底盘组件降温;出液管路,连通所述出口端以输出所述冷却介质。
本实用新型晶体生长设备及其冷却装置在权利要求书中公布了:1.一种冷却装置,其特征在于,配置于晶体生长设备的炉底盘上,所述炉底盘上设置有用于安装多个底盘组件的多个孔位,所述冷却装置包括: 进液管路,用于接收冷却介质; 至少一冷却支路,其具有连通所述进液管路的入口端和出口端,所述入口端和出口端之间串联连通有至少两个环绕所述孔位的冷却环路,各所述冷却环路之间通过嵌设于或附贴于所述炉底盘的连通管路连通以使得所述冷却介质自所述入口端依次通过各冷却环路对相应孔位的底盘组件降温; 出液管路,连通所述出口端以输出所述冷却介质。
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