苏州皓申智能科技有限公司吴廷斌获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州皓申智能科技有限公司申请的专利一种晶圆电镀导电座冷却装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223866797U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520475545.1,技术领域涉及:C25D17/00;该实用新型一种晶圆电镀导电座冷却装置是由吴廷斌;杨欣;顾本建设计研发完成,并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆电镀导电座冷却装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种晶圆电镀导电座冷却装置,包括电镀主槽本体,所述电镀主槽本体的外侧壁通过螺栓连接有外置式水冷盒,所述外置式水冷盒的内部通过螺栓安装有M形插座,所述外置式水冷盒的内部形成有进水端和出水端,所述进水端的外侧壁连接有冷却水进水管路组件,所述出水端的外侧壁连接有冷却水出水管路组件;本实用新型通过设置外置式水冷盒,将整体水冷系统从槽内改到槽外,易于维护保养、更换插座;通过设置外置式水冷盒和流速调节阀,冷却水流在进水端内直观可调,慢滴即可,节省水资源;通过设置溢流口一、溢流口二,双重溢流巧妙设计,保护电镀药水,保证电镀效果。
本实用新型一种晶圆电镀导电座冷却装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆电镀导电座冷却装置,包括电镀主槽本体1,其特征在于:所述电镀主槽本体1的外侧壁通过螺栓连接有外置式水冷盒2,所述外置式水冷盒2的内部通过螺栓安装有M形插座3,所述外置式水冷盒2的内部形成有进水端4和出水端5,所述进水端4的外侧壁连接有冷却水进水管路组件,所述出水端5的外侧壁连接有冷却水出水管路组件。
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