光驰半导体技术(上海)有限公司周皓天获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰半导体技术(上海)有限公司申请的专利一种用于化学气相沉积的供气系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223866759U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520291935.3，技术领域涉及：C23C16/448；该实用新型一种用于化学气相沉积的供气系统是由周皓天;魏兴卿;杨启忠;魏晓庆设计研发完成，并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于化学气相沉积的供气系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于化学气相沉积的供气系统，所述的供气系统包括壳体，壳体的内部设置有物料源容器与起泡装置，物料源容器内容纳有化学源液，物料源容器通过供液管网连接起泡装置，起泡装置通过供气管网连通壳体的外界；壳体内还设置有外部进气管网、载气进气管网与清洗进气管网，外部进气管网连通物料源容器，用于提供增压气体，载气进气管网连通起泡装置，用于提供载气，清洗进气管网分别连通外部进气管网与载气进气管网，用于提供清洗气体。本实用新型体积小、操作简单，可以精确控制化学源液的补液量，保证化学源供应的连续性与稳定性。
本实用新型一种用于化学气相沉积的供气系统在权利要求书中公布了：1.一种用于化学气相沉积的供气系统，其特征在于，所述的供气系统包括壳体，所述壳体的内部设置有物料源容器与起泡装置，所述物料源容器内容纳有化学源液，所述物料源容器通过供液管网连接所述起泡装置，所述起泡装置通过供气管网连通所述壳体的外界，所述物料源容器与所述起泡装置的底部还分别设置有第一称重计量组件与第二称重计量组件，所述起泡装置内还设置有液位检测组件； 所述壳体内还设置有外部进气管网、载气进气管网与清洗进气管网，所述外部进气管网连通所述物料源容器，用于提供增压气体，所述载气进气管网连通所述起泡装置，用于提供载气，所述清洗进气管网分别连通所述外部进气管网与所述载气进气管网，用于提供清洗气体。
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