奕瑞影像科技(太仓)有限公司孙瑞东获国家专利权
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龙图腾网获悉奕瑞影像科技(太仓)有限公司申请的专利一种派瑞林镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223866758U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520190450.5，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种派瑞林镀膜装置是由孙瑞东;王勇豪;曹伟兢;万培光;王潜设计研发完成，并于2025-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种派瑞林镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种派瑞林镀膜装置，所述装置包括主管路和抽气管辅路；所述主管路上依次设有气流连通的蒸发单元、裂解单元、成膜单元、冷却单元和真空单元；所述抽气管辅路的进气口与蒸发单元和成膜单元之间的管路连通，所述抽气管辅路的出气口与成膜单元和冷却单元之间的管道连通。本申请中的装置增设了抽气管辅路，从而有效减少了在派瑞林镀膜过程中基材表面颗粒的形成。
本实用新型一种派瑞林镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种派瑞林镀膜装置，其特征在于，所述装置包括主管路1、用于抽真空的抽气管辅路2； 所述主管路1上依次设有气流连通的蒸发单元11、裂解单元12、成膜单元13、冷却单元14和真空单元15，所述主管路1的首端与所述蒸发单元11的出气端连通； 所述抽气管辅路2的进气口与蒸发单元11和成膜单元13之间的主管路1连通，所述抽气管辅路2的出气口与成膜单元13和冷却单元14之间的主管路1连通； 所述抽气管辅路2上设有用于控制气体是否通过的第二阀32；所述主管路1上设有第一阀31，且其位于成膜单元13和抽气管辅路2出气口之间的主管路1上。
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