东莞市齐品光学有限公司谢祥斌获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市齐品光学有限公司申请的专利一种应用于溅射镀膜的工架获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223866753U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520301101.6,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种应用于溅射镀膜的工架是由谢祥斌;习锋设计研发完成,并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于溅射镀膜的工架在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种应用于溅射镀膜的工架,其包括置物板、设于置物板正面的若干凹槽,以及设于凹槽内可移动的杆体;置物板另背面设有调节板,杆体穿过置物板与调节板相连;驱动调节板向置物板前后移动,使杆体于凹槽内移动从而调节凹槽深度扩大缩小,随杆体于凹槽内的移动,使置物板正面的凹槽深度增加或减小,随凹槽深度增加以及减小时,来适配不同的溅射镀膜需求,并增加置物板的沉淀能力,以吸附靶材原子或大尺寸颗粒。
本实用新型一种应用于溅射镀膜的工架在权利要求书中公布了:1.一种应用于溅射镀膜的工架,其特征在于:包括置物板10、设于置物板10正面的若干凹槽11,以及设于凹槽11内可移动的杆体20;所述置物板10另背面设有调节板30,所述杆体20穿过置物板10与调节板30相连;驱动调节板30向置物板10前后移动,使杆体20于凹槽11内移动从而调节凹槽11深度扩大缩小。
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