四川旭虹光电科技有限公司;东旭科技集团有限公司李青获国家专利权
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龙图腾网获悉四川旭虹光电科技有限公司;东旭科技集团有限公司申请的专利调节装置、磁控溅射镀膜装置以及镀膜生产线获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223866752U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520185114.1,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型调节装置、磁控溅射镀膜装置以及镀膜生产线是由李青;周弈辰;陈金龙;罗靖;刘春元;李国平设计研发完成,并于2025-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本调节装置、磁控溅射镀膜装置以及镀膜生产线在说明书摘要公布了:本公开提供一种调节装置、磁控溅射镀膜装置以及镀膜生产线,其中调节装置包括:承载组件、阻挡组件、驱动组件以及控制组件;承载组件设置有安装结构,安装结构用于连接磁控溅射镀膜装置本体;阻挡组件设置有多个沿第一方向布设的阻挡端;驱动组件与承载组件以及驱动组件连接,驱动组件能够驱动各阻挡组件的阻挡端沿第二方向运动,以使阻挡端沿第三方向至少部分处于承载组件外,第一方向、第二方向以及第三方向三者相互垂直;控制组件与驱动组件连接,以控制驱动组件驱动阻挡组件。以解决现有技术中,在对待镀膜部件进行磁控溅射镀膜过程中,由于人工对阻挡块进行调节误差较大,且耗时较长,严重硬性生产进度。
本实用新型调节装置、磁控溅射镀膜装置以及镀膜生产线在权利要求书中公布了:1.一种调节装置,其特征在于,包括: 承载组件1,所述承载组件1设置有安装结构,所述安装结构用于连接磁控溅射镀膜装置本体; 阻挡组件2,所述阻挡组件2设置有多个沿第一方向A布设的阻挡端; 驱动组件3,所述驱动组件3与所述承载组件1以及所述驱动组件3连接,所述驱动组件3能够驱动各所述阻挡组件2的阻挡端沿第二方向B运动,以使所述阻挡端沿第三方向C至少部分处于承载组件1外,所述第一方向A、所述第二方向B以及所述第三方向C三者相互垂直; 控制组件4,所述控制组件4与所述驱动组件3连接,以控制所述驱动组件3驱动所述阻挡组件2。
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