东莞市元素真空科技有限公司高佳获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市元素真空科技有限公司申请的专利一种应用于溅射镀膜设备中的工艺气体输送系统及排气管获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223866749U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520475511.2，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种应用于溅射镀膜设备中的工艺气体输送系统及排气管是由高佳;周征华;宋加杰;赵金雷;王随随设计研发完成，并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于溅射镀膜设备中的工艺气体输送系统及排气管在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种应用于溅射镀膜设备中的工艺气体输送系统及排气管，其包括位于镀膜腔室外的三流量计组以及连通三所述流量计组的输气管路，其特征在于：所述输气管路包括依次连通的进气管路、进气接口、合拢管、出气接口和出气管路，所述进气管路与流量计组连通，其上设有第一阀门；所述出气管路连通位于镀膜腔室内的排气件，且出气管路上设有第二阀门。因出气管路连通的排气件位于镀膜腔室内，而镀膜腔室内为真空状态，而上述流量计组和输气管路位于镀膜腔室外，并大于一个标准大气压，使流量计组排出的气体能并迅速吸入镀膜腔室中，且气体在输气管路内输送时，相互间的碰撞进一步加强了气体的混合效果。
本实用新型一种应用于溅射镀膜设备中的工艺气体输送系统及排气管在权利要求书中公布了：1.一种应用于溅射镀膜设备中的工艺气体输送系统，包括位于镀膜腔室外的三流量计组10以及连通三所述流量计组10的输气管路20，其特征在于：所述输气管路20包括依次连通的进气管路21、进气接口22、合拢管25、出气接口23和出气管路24，所述进气管路21与流量计组10连通，其上设有第一阀门30；所述出气管路24连通位于镀膜腔室内的排气件40，且出气管路24上设有第二阀门50。
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