安徽越好电子装备有限公司江嘉获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽越好电子装备有限公司申请的专利枚叶式镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223866748U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423086302.3,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型枚叶式镀膜设备是由江嘉;徐建柱;俞峰;郑博鸿设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本枚叶式镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请公开一种枚叶式镀膜设备,包括位于中央的中转室以及环绕所述中转室设置的多个工艺室,所述工艺室具有耦接所述中转室的内侧以及相背对的外侧,至少一所述工艺室作为镀膜室,所述镀膜室的径向外侧设置有带靶材的阴极组件,所述靶材为沿纵向延伸布置,所述阴极组件的底部设置有安装座,所述安装座的下方设置有底座,所述安装座和所述底座滑动配合,使得所述阴极组件可沿径向水平滑动,具有密封结合所述镀膜室的工作位置以及脱离镀膜室的检修位置。本申请将阴极组件配置在镀膜室的径向外侧,并且阴极组件可通过径向滑动脱离镀膜室,方便拆卸阴极组件进行检修以及更换靶材。
本实用新型枚叶式镀膜设备在权利要求书中公布了:1.枚叶式镀膜设备,包括位于中央的中转室以及环绕所述中转室设置的多个工艺室,所述工艺室具有耦接所述中转室的内侧以及相背对的外侧,其特征在于,至少一所述工艺室作为镀膜室,所述镀膜室的外侧设置有带靶材的阴极组件,所述靶材为沿纵向延伸布置,所述阴极组件的底部设置有安装座,所述安装座的下方设置有底座,所述安装座和所述底座滑动配合,使得所述阴极组件可沿径向水平滑动,具有密封结合所述镀膜室的工作位置以及脱离镀膜室的检修位置。
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