深圳市矩阵多元科技有限公司李炳坤获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223866746U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520134339.4，技术领域涉及：C23C14/30；该实用新型镀膜设备是由李炳坤;张晓军;孙守祥;龚文志设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种镀膜设备，包括镀膜腔室、第一载样装置和第二载样装置。第一载样装置设置于镀膜腔室内。第一载样装置包括第一样品台和加热装置。第一样品台具有用于承载物料的第一载样面。加热装置连接于第一样品台，加热装置用于对第一样品台上的物料进行加热处理。第二载样装置设置于镀膜腔室内。第二载样装置包括第二样品台和冷却腔室。第二样品台具有用于承载物料的第二载样面。冷却腔室连接于第二样品台，冷却腔室内部填充有冷却介质，用于对第二样品台上的物料进行冷却处理。本申请的镀膜设备，既能够实现对基片的加热处理，也能够实现对基片的冷却处理。
本实用新型镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种镀膜设备，其特征在于，包括镀膜腔室、第一载样装置和第二载样装置； 所述第一载样装置设置于所述镀膜腔室内；所述第一载样装置包括第一样品台和加热装置；所述第一样品台具有用于承载物料的第一载样面；所述加热装置连接于所述第一样品台，所述加热装置用于对所述第一样品台上的物料进行加热处理； 所述第二载样装置设置于所述镀膜腔室内；所述第二载样装置包括第二样品台和冷却腔室；所述第二样品台具有用于承载物料的第二载样面；所述冷却腔室连接于所述第二样品台，所述冷却腔室内部填充有冷却介质，用于对所述第二样品台上的物料进行冷却处理。
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