中芯集成电路(宁波)有限公司刘伟民获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中芯集成电路(宁波)有限公司申请的专利一种检测叉指间距的半导体结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223866364U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423152678.X，技术领域涉及：B81C99/00；该实用新型一种检测叉指间距的半导体结构是由刘伟民;丁本利;杨国煌;朱丰;徐日;石丹丹设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测叉指间距的半导体结构在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种检测叉指间距的半导体结构，半导体结构包括：第一衬底；导电层，导电层设置于所述第一衬底的一侧，所述导电层上设置有电连接设置的焊盘结构和触点结构；MEMS器件，所述MEMS器件设置在所述导电层远离所述第一衬底的一侧，所述MEMS器件包括多个叉指电极和与所述多个叉指电极连接的连接结构；其中，所述连接结构与所述焊盘结构连接，所述触点结构上施加电压时，所述MEMS器件内的多个叉指电极之间的间距通过电容值确定。本申请通过在触点结构上施加电压，可以快速准确地测量多个叉指电极之间的电容值，并根据电容值的变化精准地确定多个叉指电极之间的间距变化，从而精确监控了整根叉指的间距变化，提高了对工艺异常监测的准确度。
本实用新型一种检测叉指间距的半导体结构在权利要求书中公布了：1.一种检测叉指间距的半导体结构，其特征在于，所述半导体结构包括： 第一衬底； 导电层，所述导电层设置于所述第一衬底的一侧，所述导电层上设置有电连接设置的焊盘结构和触点结构； MEMS器件，所述MEMS器件设置在所述导电层远离所述第一衬底的一侧，所述MEMS器件包括多个叉指电极和与所述多个叉指电极连接的连接结构； 其中，所述连接结构与所述焊盘结构连接，所述触点结构上施加电压时，所述MEMS器件内的多个叉指电极之间的间距通过电容值确定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯集成电路(宁波)有限公司，其通讯地址为：315000 浙江省宁波市小港街道安居路335号3幢、4幢、5幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励