苏州康沃斯智能装备有限公司高波获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州康沃斯智能装备有限公司申请的专利一种晶圆排片机检测装置的检测工台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223865742U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520425449.6,技术领域涉及:B65G47/24;该实用新型一种晶圆排片机检测装置的检测工台是由高波设计研发完成,并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆排片机检测装置的检测工台在说明书摘要公布了:本申请公开了一种晶圆排片机检测装置的检测工台,属于晶圆检测工台技术领域。主要包括支架,该支架上安装有导轨和顶架,导轨上滑动安装有滑板,顶架侧方端部安装有检测头,上料机构,该上料机构安装于滑板上,上料机构具有安装于滑板上的第一气缸,及安装于第一气缸输出端上的托板,托板上安装有第一吸盘,工台,该工台设置于检测头的正下方,工台底部设有用于支撑的底架,工台上开设有导槽,定位机构,该定位机构安装于底架上,定位机构包括固定于底架上的滑轨,及滑动安装于滑轨上的两组夹板,夹板上设有与导槽适配的限位柱。本申请的一种晶圆排片机检测装置的检测工台解决了对不同大小晶圆无法完全置于检测头检测范围内的问题。
本实用新型一种晶圆排片机检测装置的检测工台在权利要求书中公布了:1.一种晶圆排片机检测装置的检测工台,其特征在于:该检测工台包括: 支架1,该支架1上安装有导轨11和顶架12,所述导轨11上滑动安装有滑板13,所述顶架12侧方端部安装有检测头121; 上料机构2,该上料机构2安装于所述滑板13上,所述上料机构2具有安装于所述滑板13上的第一气缸22,及安装于所述第一气缸22输出端上的托板,所述托板上安装有第一吸盘23; 工台3,该工台3设置于所述检测头121的正下方,所述工台3底部设有用于支撑的底架32,所述工台3上开设有导槽31; 定位机构5,该定位机构5安装于所述底架32上,所述定位机构5包括: 滑轨54,该滑轨54固定于所述底架32上, 两组夹板53,两组所述夹板53滑动安装于所述滑轨54上,所述夹板53上设有与所述导槽31适配的限位柱531; 其中:两组所述夹板53适于在外力作用下相互靠近或远离,以对晶圆定位。
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