中科汇珠(广州)半导体有限公司林浩勃获国家专利权
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龙图腾网获悉中科汇珠(广州)半导体有限公司申请的专利一种晶圆切割装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223864044U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423086780.4,技术领域涉及:B28D5/02;该实用新型一种晶圆切割装置是由林浩勃;杨军伟;郭松波;宋华平设计研发完成,并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆切割装置在说明书摘要公布了:本实用新型实施例提供了一种晶圆切割装置,该晶圆切割装置包括:载物台,用于装载待切割晶圆;切割组件,包括:刀座和设置于刀座上的切片刀;刀座设置于载物台的上方,使得切片刀朝向待切割晶圆;驱动装置,驱动装置与刀座连接,用于驱动刀座带动切片刀移动,以对晶圆进行切割;吹扫装置,固定于切割组件的刀座上,具有进气端和吹扫喷嘴;进气端与外部供气瓶和吹扫喷嘴连通,以向吹扫喷嘴输送气体;吹扫装置固定安装于刀座上,与切片刀相邻的位置,且朝向待切割晶圆,以使吹扫喷嘴对晶圆进行同步吹扫。
本实用新型一种晶圆切割装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆切割装置,其特征在于,包括: 载物台1,用于装载待切割晶圆10; 切割组件2,包括:刀座22和设置于所述刀座22上的切片刀21;所述刀座22设置于载物台1的上方,使得所述切片刀21朝向所述待切割晶圆10; 驱动装置3,所述驱动装置3与所述刀座22连接,用于驱动所述刀座22带动所述切片刀21移动,以对晶圆10进行切割; 吹扫装置4,固定于所述切割组件2的刀座22上,具有进气端41和吹扫喷嘴42;所述进气端41与外部供气瓶和所述吹扫喷嘴42连通,以向所述吹扫喷嘴42输送气体;所述吹扫装置4固定安装于所述刀座22上,与所述切片刀21相邻的位置,且朝向所述待切割晶圆10,以使所述吹扫喷嘴42对所述晶圆10进行同步吹扫。
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